高端定制PVD鍍膜設備- PIS純離子鍍膜設備
PIS系列設備主要是(集)純離子鍍膜技術(PIC)、 高能離子束清洗技術(IONBEAM)和磁控濺射技術(SPUTTER)三種技術融合一體,可適應廣泛鍍膜靶材,無論金屬還是介質、化合材料都可以利用濺射工藝進行鍍膜及成膜,使膜層具有高致密度、超硬、耐磨損、耐腐蝕等特點。可鍍制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、CU、AU、超級類金剛石膜(TAC、DLC)、裝飾膜等非金屬及其化合物的膜層和復合膜層。可編程序控制器(PLC)+觸摸屏(HMI)組合電氣控制系統,全自動控制。
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